無油渦旋真空泵是一種使用無油渦旋機(jī)制構(gòu)作為工作元件的真空泵。它采用特殊的渦旋結(jié)構(gòu),使用氣體密閉設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了真空泵在無潤滑油的情況下正常運(yùn)行,免除了因油蒸汽污染而對被抽吸物體造成的影響。無油渦旋真空泵的工作原理是通過氣體分子間的相互碰撞和反彈,產(chǎn)生向周圍膨脹的氣體流動(dòng),從而達(dá)到抽取氣體的目的。由于其不需要使用潤滑油潤滑,因此不會(huì)產(chǎn)生油污染和廢氣排放,具有10-5Pa以下的高真空度、低振動(dòng)、低噪音等優(yōu)點(diǎn)。無油渦旋真空泵主要用于對高純度氣體、生物材料、金屬材料、半導(dǎo)體及光學(xué)元件等精密裝置的高真空處理或抽氣工作,在醫(yī)療、化工、電子、食品、航空、等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。杭州博賽歐機(jī)械有限公司無油真空泵為您提供品質(zhì)過關(guān)的無油渦旋真空泵!臺(tái)州低能耗無油渦旋真空泵價(jià)錢
無油渦旋真空泵是一種廣泛應(yīng)用于科研、制藥、半導(dǎo)體、化工等領(lǐng)域的真空設(shè)備。它主要應(yīng)用于以下幾個(gè)領(lǐng)域:1.科研實(shí)驗(yàn):無油渦旋真空泵通常用于科研實(shí)驗(yàn)中,如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、氣相色譜、光譜儀等設(shè)備的真空抽取。2.制藥行業(yè):制藥工業(yè)中,無油渦旋真空泵被廣泛應(yīng)用于各類設(shè)備的真空干燥、濃縮、提純和罐體抽氣等過程。3.半導(dǎo)體工業(yè):在半導(dǎo)體工業(yè)中,無油渦旋真空泵通常用于制造半導(dǎo)體器件時(shí)的腔室抽氣、膜沉積、離子注入等過程。4.化工工業(yè):在化工工業(yè)中,無油渦旋真空泵通常用于各類反應(yīng)釜、蒸餾塔、萃取器等設(shè)備的真空抽取,以及化工產(chǎn)品的干燥、濃縮等工藝??傊?,無油渦旋真空泵具有大量的的應(yīng)用領(lǐng)域,幾乎涵蓋了所有需要進(jìn)行真空操作的領(lǐng)域,并且在各個(gè)領(lǐng)域中都有著非常重要的地位和作用。江蘇低能耗無油渦旋真空泵無油渦旋真空泵在航空航天行業(yè)中得到普遍的應(yīng)用。
無油渦旋真空泵的工作原理是渦旋發(fā)生器旋轉(zhuǎn):無油渦旋真空泵內(nèi)設(shè)有一個(gè)渦旋發(fā)生器,通常由一個(gè)旋轉(zhuǎn)的葉輪和一個(gè)固定的圍板組成。葉輪固定在電機(jī)軸上,并在圍板內(nèi)創(chuàng)造一個(gè)閉合的流道。當(dāng)電機(jī)帶動(dòng)葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),葉輪會(huì)帶動(dòng)流道內(nèi)的氣體旋轉(zhuǎn),形成渦旋。氣體吸入:隨著葉輪的旋轉(zhuǎn),氣體在流道內(nèi)被渦旋的力量帶動(dòng),從泵的入口吸入。氣體壓縮:葉輪持續(xù)旋轉(zhuǎn),氣體在流道內(nèi)被進(jìn)一步壓縮,同時(shí)壓力增加。氣體排出:當(dāng)氣體達(dá)到一定的壓力后,便從泵的出口排出。在這個(gè)過程中,氣體被有效地從泵內(nèi)排出,達(dá)到真空泵的效果。
無油渦旋真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)中發(fā)揮著非常重要的作用,主要用于半導(dǎo)體器件的真空制造過程。具體包括以下幾個(gè)方面:1.腔室抽氣:在半導(dǎo)體器件的制造過程中,需要將反應(yīng)腔、制備腔等工藝設(shè)備中的氣體抽除,以保證設(shè)備內(nèi)部的真空度。無油渦旋真空泵通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片將氣體抽出,從而實(shí)現(xiàn)對腔室的抽氣。2.膜沉積:在半導(dǎo)體工業(yè)中,涂覆薄膜是非常常見的一種加工工藝。無油渦旋真空泵可以用于移除不需要的氣體,制造出高質(zhì)量的薄膜。3.離子注入:在半導(dǎo)體器件制造的過程中,離子注入是一個(gè)重要的工藝步驟。無油渦旋真空泵可以用于深度抽氣,確保注入處理時(shí)所需的高真空度??傊瑹o油渦旋真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)中發(fā)揮著重要的作用,為半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)提供了必要的真空環(huán)境,提高了制造效率和產(chǎn)品質(zhì)量。買無油渦旋真空泵就選杭州博賽歐機(jī)械有限公司!
無油渦旋真空泵具有以下優(yōu)點(diǎn):無油:真空腔內(nèi)無油,非接觸,無磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空。抽氣量大:雙渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源。抽氣效率高:帶有3-4個(gè)抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低。非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動(dòng)小。結(jié)構(gòu)簡單緊湊,相同尺寸下,運(yùn)動(dòng)半徑小,運(yùn)行平穩(wěn)。體積小,維修方便,維護(hù)費(fèi)用低。采用空氣冷卻,無需水冷。解決了污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題。無油渦旋真空泵不僅結(jié)構(gòu)簡單、具有較高的壓縮比,而且在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速,工作壓力范圍寬。動(dòng)靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小,功率變化小,振動(dòng)噪聲低,可靠性高。無油渦旋真空泵具有結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。臺(tái)州低能耗無油渦旋真空泵
無油渦旋真空泵在高溫和高濕度環(huán)境中同樣適用。臺(tái)州低能耗無油渦旋真空泵價(jià)錢
無油渦旋真空泵在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用,如分子泵連接、醫(yī)療儀器、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)藥、真空包裝、太陽能、真空干燥過濾、科研、分析儀表、真空固定、氣體脫氣、真空成型、泄漏檢測、加速器、濺射裝置、回收裝置等。它不僅可以用于各種科研和工業(yè)制造過程中需要真空環(huán)境的情況,也可以用于回收和排放各種氣體。同時(shí),在醫(yī)療和制藥領(lǐng)域,無油渦旋真空泵可以確保醫(yī)療設(shè)備的清潔和無菌,保障藥物制備和存儲(chǔ)的穩(wěn)定性。在真空腔內(nèi)無油,不會(huì)產(chǎn)生微粒塵埃污染,因此它可獲得清潔真空。臺(tái)州低能耗無油渦旋真空泵價(jià)錢