產品介紹:FOUP清洗機是一種自動的離心清洗機,適用于所有類型的晶圓料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以實現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內360 正 反轉動。由DI Water的表面張力、機械力進行Particle清洗, 離心+熱風進行烘干等工藝組成,高效率、高質量完成foup的ParticFOUP清洗機,Casstte清洗機,FOSB清洗機,離心清洗機,晶圓清洗機,清洗干燥,360正反轉動清洗機,離心熱風洪干清洗機。芯夢設備操作簡便,維護方便,降低你的生產成本!吉林FOUP清洗機怎么收費
FOUP清洗機是半導體制造行業(yè)中一種關鍵設備,專門用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是一種封閉式容器,用于存放和保護晶圓。FOUP清洗機通過自動化的清洗過程,確保FOUP內外的高純度和可靠性。FOUP清洗機具備多種功能,能夠去除FOUP內的各種污染物,如油脂、有機物、化學物質殘留和水分。它采用先進的清洗技術和工藝參數,如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以確保徹底去除污染物,并不會對FOUP造成損害。該設備具有高效性和自動化特點。它能夠在短時間內完成清洗過程,提高生產效率。自動化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差和風險。同時,清洗機通常配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程。FOUP清洗機還注重安全性和可靠性。它采用高質量的材料和密封結構,確保清洗過程中不會對FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報警裝置能夠確保操作人員的安全。此外,清洗機通常具有數據記錄和追溯功能,方便對清洗過程進行監(jiān)控和分析。綜上所述,F(xiàn)OUP清洗機是半導體制造領域中不可或缺的設備,通過高效、自動化的清洗過程,確保FOUP內外的高純度和可靠性,為晶圓生產提供重要保障。中國澳門晶圓盒清洗機單價選擇我司設備,讓你的生產更加智能、自動化!
提供各種半導體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細菌滋生專項研發(fā)雙流體旋轉噴射清洗方式,實現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設計;高效干燥技術,AMC化合物去除技術全生產過程實時監(jiān)控,兼容自動傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標準高產量,占地面積設計。
我們的晶圓盒清洗機配備了高精度的傳感器和控制系統(tǒng),能夠精確控制清洗和干燥的時間和溫度,確保清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。同時,我們的晶圓盒清洗機具有多種智能功能,能夠自動識別晶圓盒類型,自動調整清洗和干燥的參數,提高生產效率。操作簡單,維護方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機,讓您的晶圓生產更加高效!
應用領域:主要應用于半導體行業(yè)《晶四制造、集成電路、先進封裝,整個芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業(yè)、片盒制造廠;
適用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產品,可定制清洗從50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本設備采用全自動方式,上料端/下料端可適配工廠自動傳檢線;將需要清潔的片盒放置在籃管內一傳輸機構依次將籃管傳到一級超聲清洗單元一一級噴洗單元一二級超聲清洗單元一二級嗎洗單元一一級干爆單元一二級干爆單元一下料單元一人工下料或對接工廠自動傳輸線。芯夢設備具有靈活的生產模式,滿足你的個性化需求!
5大系統(tǒng)結構:
純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。
25組清洗:
工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設定。
EN18822-H14:
高等級空氣過濾系統(tǒng);超純水0.1um過濾,CDA0.03um過濾。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速實現(xiàn)干進干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量。
2倉2基地:
蘇州+上??焖夙憫獋浼艾F(xiàn)場技術服務壽命管理lifecycleManagement配備RFID數據讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng),方便客戶的數據管理Cassette使用情況江蘇芯夢的設備具有多種智能功能,助你輕松應對生產挑戰(zhàn)!安徽半自動FOSB清洗機廠家報價
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FOUP內的化學物質殘留可以采取以下方法進行去除:清洗劑清洗:使用適當的清洗劑進行清洗,以去除FOUP內的化學物質殘留。選擇與殘留物化學性質相匹配的清洗劑,并進行適當的沖洗或浸泡,以將化學物質從FOUP表面去除。溶劑清洗:某些化學物質可以通過溶劑清洗來去除。選擇適當的溶劑,根據化學物質的性質進行清洗。溶劑可以幫助溶解和分離化學物質殘留,并通過沖洗或浸泡的方式將其去除。氧化處理:一些化學物質殘留可以通過氧化處理來去除。例如,使用適當的氧化劑或氧化性清洗劑,如過氧化氫、臭氧等,可以將化學物質氧化為更易去除的形式。洗滌劑清洗:使用專門設計用于去除化學物質殘留的洗滌劑進行清洗。這些洗滌劑通常具有針對特定化學物質的配方,可以有效去除化學物質的殘留。高溫處理:將FOUP加熱至較高溫度,以促使化學物質殘留的揮發(fā)或分解。高溫處理可以通過熱解或蒸發(fā)的方式將化學物質殘留去除。吉林FOUP清洗機怎么收費
芯夢圍繞公司價值觀,服務、創(chuàng)新、奮斗、分享、團結,始終堅持為客戶提供技術創(chuàng)新和質量過硬的自主可控的半導體設備,不斷追求質量精益求精和環(huán)境友好,先后通過了ISO9001質量管理體系認證和ISO140001環(huán)境管理體系認證。我們的全自動ENEPIG化學鍍設備、全自動/半自動晶圓盒清洗機、全自動單片清洗機等產品均通過了SEMIS2、S8等國際半導體行業(yè)標準認證。近年來,芯夢蓬勃發(fā)展,榮獲了國家高新技術企業(yè)、江蘇省潛在獨角獸企業(yè)、蘇錫常首臺套重大裝備、江蘇省企業(yè)工程技術研究中心、江蘇省三星級上云企業(yè)等多項榮譽資質。