晶圓盒清洗機(jī)包括

FoupCleaner；

Xtrim-FC-M300/400高速型；

FouPCleaner；

Xtrim-FC-H300水平機(jī)

AutoFOUP/FOSBCleaningSystem

全自動FOUP/FOSB清洗機(jī)Xtrim-FC-A300

Xtrim-FC-M300Introduction：

產(chǎn)品介紹：

Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；

在清洗機(jī)行業(yè)超25年經(jīng)驗(yàn)；

ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；

在上海，蘇州有完善的服務(wù)和銷售團(tuán)隊

Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；

自主研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)、服務(wù)、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；

SEMI S2認(rèn)證；

選擇我司設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加節(jié)能、環(huán)保！中國澳門半自動片盒清洗機(jī)按需定制

Foup清洗機(jī)是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機(jī)采用先進(jìn)的智能化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，適合各種生產(chǎn)場景。其外觀精美，質(zhì)感上乘，提升了生產(chǎn)品質(zhì)，同時采用品質(zhì)材料，使用壽命長，是您的長久伙伴。我們的產(chǎn)品可以個性化定制。具有多種智能功能，助您輕松應(yīng)對生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡單，維護(hù)方便，降低您的使用成本。具有高精度功能，確保生產(chǎn)體驗(yàn)。采用先進(jìn)的自動化控制技術(shù)，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機(jī)，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動化甘肅晶圓盒清洗機(jī)廠家報價我司設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，性能可靠，是你的生產(chǎn)好幫手！

5大系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風(fēng)烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。

25組清洗：

工藝配方ProcessFormula，不同的Cassette靈活設(shè)定。

EN18822-H14：

高等級空氣過濾系統(tǒng);超純水0.1um過濾，CDA0.03um過濾。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出，30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍，更大吞吐量。

2倉2基地：

蘇州+上?？焖夙憫?yīng)備件及現(xiàn)場技術(shù)服務(wù)壽命管理lifecycleManagement配備RFID數(shù)據(jù)讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng)，方便客戶的數(shù)據(jù)管理Cassette使用情況

FOUP清洗設(shè)備在半導(dǎo)體制造中起著重要的作用，可以提供高質(zhì)量的晶圓潔凈度，確保半導(dǎo)體制造過程的可靠性和穩(wěn)定性。

使用FOUP清洗設(shè)備的過程通常包括以下步驟：FOUP加載：將待清洗的FOUP放置到清洗設(shè)備的托盤或夾具上。清洗預(yù)處理：在清洗艙中對FOUP進(jìn)行預(yù)處理，例如使用噴淋裝置和超聲波清洗器清洗表面的污染物。水洗：使用清潔的水源對FOUP進(jìn)行徹底的水洗，以去除清洗劑和殘留的污染物。干燥：通過噴氣裝置或其他干燥方法將FOUP表面的水分蒸發(fā)，確保FOUP完全干燥。卸載：將清洗干凈的FOUP從清洗設(shè)備中取出，準(zhǔn)備進(jìn)行后續(xù)的半導(dǎo)體制造工藝。我司設(shè)備具有高精度特點(diǎn)，確保生產(chǎn)質(zhì)量！

全自動晶圓盒清洗機(jī)（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場景：用DIW/有機(jī)溶劑（可選）實(shí)現(xiàn)FOUP清潔，通過高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實(shí)現(xiàn)FOUP干燥。設(shè)備特點(diǎn)：清洗對象：6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD。設(shè)備主要構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu))、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng)、有機(jī)溶劑清洗系統(tǒng)（可選）等機(jī)構(gòu)組成。清洗能力：8只FOUP/小時（依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定）。干進(jìn)干出。人工分離FOUP、POD，人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn)，對于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設(shè)有防呆機(jī)構(gòu)，防止人工將清洗件放置錯誤。鼠籠設(shè)有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測。動平衡偵測轉(zhuǎn)籃未定位保護(hù)，降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞。主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制，主軸震動值可監(jiān)測。可預(yù)設(shè)多條Recipe，操作簡潔。選配SECS/GEM接口。可實(shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能。芯夢設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式，滿足你的個性化需求！甘肅全自動晶圓盒清洗機(jī)聯(lián)系方式

江蘇芯夢設(shè)備操作界面友好，易學(xué)易用，提升生產(chǎn)效率！中國澳門半自動片盒清洗機(jī)按需定制

提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗，并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式，實(shí)現(xiàn)超微精密清洗，節(jié)能設(shè)計;高效干燥技術(shù)，AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時監(jiān)控，兼容自動傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300，符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量，占地面積設(shè)計。

我們的晶圓盒清洗機(jī)采用先進(jìn)的自動化控制技術(shù)，能夠自動完成清洗和干燥的過程，無需人工干預(yù)。具有高效的清洗和干燥功能，確保晶圓盒表面干凈無塵、干燥無水痕。同時，我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能，能夠自動識別晶圓盒類型，自動調(diào)整清洗和干燥的參數(shù)，保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡單，維護(hù)方便，降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī)，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動化！中國澳門半自動片盒清洗機(jī)按需定制

芯夢擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地，包括超過3000平米的千級潔凈室和萬級裝配車間，配備有精密的研發(fā)檢測儀器設(shè)備。芯夢的創(chuàng)始團(tuán)隊成員均為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才，目前芯夢已經(jīng)建立了一支多學(xué)科交叉、實(shí)力雄厚的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊，目前公司擁有員工總數(shù)290余人，其中技術(shù)研發(fā)人員90余人，售后服務(wù)人員近40人。我們高度重視知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)，主營產(chǎn)品已獲得數(shù)十項(xiàng)授權(quán)專利，包括近20件授權(quán)發(fā)明專利，并通過了知識產(chǎn)權(quán)管理體系認(rèn)證。